CHT-TP01是严质针对光伏太阳能电池研发和质量控制领域推出的高性能专用光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到近红外。
CHT-TP01严质光谱椭偏仪基于绒面太阳电池专用的高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件，专门用于测量和分析光伏领域中多层纳米薄膜的层构参数(如厚度)和物理参数(如折射率n、消光系数k)，典型样品包括：晶圆上的单层或多层纳米薄膜样品、PERC、TOPCON、异质结、XBC等工艺的绒面太阳电池钝化膜检测、单层减反膜(如Al2O3，SiNx，SiO2，TiO2等)、双层减反膜检测(如SiNx/SiO2，SiNx2/SiNx1，SiNx/Al2O3等)。也可用于测量块状材料的光学性质。
1）先进的旋转补偿器测量技术：Delta 测量范围0-360°, 无测量死角问题，也可消除粗糙表面引起的消偏振效应对结果的影响；
2）粗糙绒面纳米薄膜的高灵敏测量：先进的光能量增强技术、高信噪比的探测技术以及高信噪比的微弱信号处理方法，实现了对粗糙表面散射为主和极低反射率为特征的绒面太阳电池表面镀层的高灵敏检测；
3）晶体硅太阳电池背钝化多层膜检测：专门针对多层薄膜检测而设计，可满足晶体硅太阳能电池领域中的双层膜，如（SiNx/SiO2 ,SiNx2/SiNx1, SiNx /Al2O3 等）的检测；
4）秒级的全光谱测量速度：全光谱测量典型5-10 秒； 快速检测小于 1 秒；
5）原子层量级的检测灵敏度：测量精度可达0.05nm；
6）多入射角度调节：多入射角度结构设计，增强了仪器测量的灵活性，尤其适合于复杂的样品的测量场合；
7）视频式样品对准：精确完成样品对准，并方便观察，减小人为误差；
8）一键式仪器操作：对于常规操作，只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的测量、 建模、拟合和分析过程，丰富的模型库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求。
| 型号 | CHT-TP01 |
一般指标 | |
| 光谱范围 | （U）245-1000nm（350-1000nm基础款） （UI）245–1700 nm |
| 入射角度结构 | （M）手动变入射角度，40°-90°, 步距为5°, 重复性0.02 ° |
性能指标 | |
| 测量重复性* | 针对Si上的100nm SiO2膜厚的标片时： 膜厚重复性：0.01nm 折射率重复性：0.0005 |
| 膜厚测量精度 | 膜厚测量精度：±0.5nm |
| 单次测量时间 | 全光谱Ψ/ Δ值测量，典型测量时间 5-10 秒 |
光学和机械组件 | |
| 椭偏原理 | PSCA模式（P-起偏器，S-样品，C-补偿器，A-检偏器） 光源：宽光谱光源 |
| 起偏器/检偏器 | 高质量的偏振棱镜，计算机高精度控制 |
| 测量光斑 | 手动调节光斑直径，微光斑180um |
| 光谱分辨率 | 0.4nm |
| 波长数据间隔 | 不大于0.5nm |
| 载物台 | 兼容300mm╳3000mm 及以下尺寸的太阳能电池样品一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品 |
| 样品对准 | 自准直望远镜&显微镜，用于精密样品对准(高度和倾斜度)电子视频式图像对准 |
| 探测器 | 高灵敏低噪声光谱探测器 |
| 控制器 | 含电路板、微控制器单元、电源、光源 |
| 计算机 | 高品质计算机，含操作系统 |
| 输出设备 | 软件界面支持输出、输入光谱数据 |
软件 | |
| 界面语言 | 多语言，包括中/英文，默认中文 |
| 权限管理 | 包括管理员权限、操作员权限，便于仪器的管理和使用 操作模式：一键式常规测量模式，初学者可方便应用 高级分析模式：可进行复杂材料的高级分析 |
| 光谱测量 | ● 自动设置光学组件方位角 ● 手动/自动执行用户定义的任务 ● 光谱以标准的能量或者波长单位显示 ● 样品响应的监视，在线的Ψ和Δ表述 |
| 测量结果输出 | ● 椭偏角度Ψ , Δ及其相关的其它输出形式 ● 介电函数 ● 折射率、消光系数 ● 多角度光谱测量、绘图和拟合 ● 偏振度 ● 选择波长和角度数据剪辑，而不会改变原始数据 ● 合并不同数据于一个文件的合并功能 |
| 建模、模拟和拟合 | 能够拟合多层结构（单层膜、复合膜、周期交替多层膜），得出Ψ ,Δ 等； ● 易于使用、用户可扩展的材料数据库 ● 丰富的材料光学常数列表 ● 材料色散模型：包括 Cauchy, Sellmeier ，Lorentz ，Drude 等 多种材料色散模型 ● EMA 有效介质近似 ● 每一膜层可视作均匀膜、界面、粗糙面等 合成数据分析： ● 多入射角度测量 ● 多种测量方法（椭偏Ψ/Δ 、透射、反射） 拟合： ● 对光学模型和测量数据的快速回归拟合运算法则 ● 同时图形化显示实测数据与模拟数据 |
| 结果显示 | ● 显示图形 先进的报表功能，输出测量和计算光谱、光学模型和拟合参数 |
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2024-12-04
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