钙钛矿太阳能电池的性能受薄膜质量和厚度的影响。高质量薄膜提升了电子和空穴传输效率，减少能量损耗并延长载流子寿命。优化制备工艺，如使用低毒性溶剂和封闭蒸汽退火，可提高薄膜的结晶性和均匀性，提升光电转换效率（PCE）。
严质CHT系列台阶仪是严质自主研发的全国首套国产化台阶仪，其主要用于台阶高度、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。具有高精度、高分辨率特点，搭配一体花岗岩结构，保证稳定可靠的重复性测量。测量端采用金刚石探针，提供多种可选的尖端曲率半径，探针施加力通过专用软件自动控制。标配一个彩色摄像头对样品及针尖同时成像，可无畸变地观察样品区，快速定位特征区域。
严质CHT系列台阶仪采用大行程压电位移台控制探针接触样品表面，反馈环路控制压电微动台保证压力值恒定；碰到凸阶时，压电微动台抬起探针，碰到凹坑时，探针下探，压电微动台的位移量即是台阶高度。垂直分辨率为0.1nm，重复性偏差小于0.5nm。
稳定的重复性花岗岩龙门架结构搭配高精度微力传感器与微动扫描器，提供高的测量精度和重复性：1um标样30次扫描偏差极值＜10nm，准确度小于0.5nm。 | ||
金刚石探针采用金刚石探针，提供不同规格，满足客户对台阶仪的不同需求。 | ||
无畸变观察样品区系统配备摄像头，实时监测探针扫描状态及可观察扫描区域，无畸变观察样品区。 | ||
样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°旋转平台，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。 | ||
半导体应用1）沉积薄膜的台阶高度 2）抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度 3）蚀刻速率测定 4）化学机械抛光（腐蚀、凹陷、弯曲） | ||
盖钛矿台阶高度测量 |
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玻璃基板及显示器应用1）AMOLED 2）液晶屏研发的台阶步级高度测量 3）触控面板薄膜厚度测量 4）太阳能涂层薄膜测量 | ||
柔性电子器件薄膜应用1）有机光电探测器 2）印于薄膜和玻璃上的有机薄膜 3）触摸屏铜迹线 | ||
型号 | CHT-TJ02B | ||
样品 | 单片(厚度≤10mm) 可定制 | ||
晶圆尺寸和行程 | 6寸 ≤150mm | 8寸≤200mm | 12寸≤300mm |
重复性测量偏差 | ≤0.5nm(1σ 1um标准块重复扫描30次) | ||
最大测量范围 | 80um | ||
垂直分辨率 | 0.05nm满量程 | ||
探针加力范围 | 0.5~50mg | ||
力控制 | 恒定 | ||
采样速度 | 200Hz | ||
最大扫描长度 | 55mm | ||
扫描方向 | 左右双向 | ||
扫描分辨率 | 10nm | ||
扫描最大采集点数 | 200万点 | ||
扫描速度 | 5um/s -50um/s | ||
扫描平整度 | 20nm/2mm | ||
样品台运动方式 | 可实现水平(X/Y),旋转(RZ)手动控制 | ||
XY样品台重复性 | ±5um | ||
Z样品台行程 | 10mm | ||
样品旋转台 | 士360° | 士360° | |
标准探针 | 曲率半径≥2um角度60°(标配) | ||
亚微米探针 | 曲率半径≤1um角度60° | ||
软件功能 | 台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量 | ||
探针传感器 | 超低惯量，LVDC传感器 | ||
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2024-12-04
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